page_banner

ST.CERA Персонализирано рамо за зареждане от 99,5% алуминиев оксид

ST.CERA Персонализирано рамо за зареждане от 99,5% алуминиев оксид

Кратко описание:

Керамичният краен ефектор/манипулиращо рамо се инсталира на робот за обработка на пластини или „крайни ефектори“ и се използва за пренасяне на силициеви пластини във или извън касети или камери за обработка.
Предимствата от използването на керамика са намаляване на деформацията поради висока якост на огъване, устойчивост на високи температури и елиминиране на метални замърсявания и частици.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

информация за продукта

С характеристиките на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на абразия и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.

Изработен от прах от двуалуминиев оксид с висока чистота, обработен чрез студено изостатично пресоване, синтероване при висока температура и прецизно завършване, керамичният краен ефектор може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 mm, покритие на повърхността Ra 0,1, устойчивост на температура 1600 ℃.

Керамичният краен ефектор с кухина може да работи при висока температура от 800 ℃ поради уникалната технология за свързване на керамика.

Ето характеристиките на алуминиевата керамика с различна чистота.

параметри на продукта

лого

ST.CERA CO., LTD.

Лист с данни за материала

Имоти Мерна единица Алуминий (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Цвят Бяло Слонова кост Слонова кост Слонова кост
Плътност g/cm3 3,88 3.90 3.93 3,95
Водна абсорбция % 0 0 0 0
Размер на зърното μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Якост на огъване MPa 350 360 361 350
Издръжливост на счупване MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Твърдост по Викерс Общ успех 14 15.5 16 16
Еластичен модул на Йънг Общ успех 370 370 380 390
Топлопроводимост W/m·k 28 32 32 34
Коефициент на термично разширение 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Диелектрична константа 9.5 9.6 9.6 9.9
Ъгъл на диелектрични загуби 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Диелектрична якост V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Специфично съпротивление Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Производствен процес

Гранулиране със спрей → керамичен прах → Формоване → Спиране на празно → Грубо шлайфане → CNC обработка → Фино шлайфане → Проверка на размерите → Почистваща опаковка

Съществени подробности

Място на произход: Хунан, Китай
Материал: алуминиева керамика
Код по ХС: 85471000
Възможност за доставка: 100 бр на месец
Време за изпълнение: 3-4 седмици
Опаковка: Гофрирана кутия, дунапрен, кашон
Други: Налична услуга за персонализиране


  • Предишен:
  • Следващия: