-
Високочист алуминиев керамичен краен ефектор за роботи за обработка на пластини
Алуминиево-керамичният краен ефектор на St.Cera е прецизно обработен от 99,8% Al₂O₃ с висока чистота, използвайки усъвършенствано 5-осно CNC шлифовъчно оборудване. Нашите производствени възможности включват прецизни шлифовъчни машини и CNC обработващи центрове, което позволява сложни геометрии с висока прецизност. Крайният ефектор се отличава с тънък профил (тънък до 1,5 мм) със заострен водещ ръб за плавно поставяне на пластината. Материалът осигурява висока твърдост (модул на Юнг 380 GPa), отлична износоустойчивост и термична стабилност до 800°C. Всеки модул е прецизно шлифован, за да се постигне плоскост от 0,003 мм, паралелизъм от 0,002 мм и повърхностна обработка Ra0.1, осигурявайки постоянен контакт с пластината и работа без частици в полупроводникови FAB среди. Предлага се в дължини от 150 мм до 450 мм, с персонализирани геометрии на върха (захват на ръб, Bernoulli, плосък) и монтажни фланци, подходящи за OEM роботи. Опциите за повърхностно покритие включват припокриване, полиране или ESD дисипативно покритие (10⁶–10⁹ Ω/кв.м.).
-
ST.CERA Персонализиран алуминиев керамичен край на Бернули
Като водещ производител на керамични краен ефектор/манипулаторно рамо, ние разработихме неконвенционален краен ефектор/манипулаторно рамо, който отговаря на нуждите на този пазар. Керамичното крайно ефекторно рамо/манипулаторно рамо на Bernoulli, базирано на принципа на Bernoulli, може да левитира и транспортира пластината чрез въздушен поток с минимален периферен контакт.
-
ST.CERA Персонализиран ESD керамичен краен ефектор
С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
-
ST.CERA Персонализиран захващащ краен ефектор от алуминиева керамика
С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
-
ST.CERA Персонализиран алуминиев керамичен тавълнов ефектор
Това е керамичен краен ефектор/манипулиращо рамо тип тава, използвано във вакуумни условия.
Керамичното рамо за краен ефектор/манипулирано устройство е „по-устойчиво на топлина“, „по-малко отклоняващо се“ и „по-леко“ в сравнение с металните.
-
ST.CERA Персонализиран вакуумен краен ефектор от алуминиев керамик
С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
-
ST.CERA Персонализиран алуминиев керамичен краен ефектор
ST.CERA предлага ESD покритие и ESD керамичен материал. Краен ефектор. Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Персонализиран вакуумен краен ефектор от алуминиев керамик
Това е керамичен краен ефектор/манипулиращо рамо тип тава, използвано във вакуумни условия.
Керамичното рамо за краен ефектор/манипулирано устройство е „по-устойчиво на топлина“, „по-малко отклоняващо се“ и „по-леко“ в сравнение с металните.
С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Персонализирано обработване на алуминиеви керамични крайни ефектори
ST.CERA предлага ESD покритие и ESD керамичен материал за краен ефектор/манипулиращо рамо с вграден кух канал. Ние сме специализирани в техника, която формира вакуумен въздушен канал вътре в едно парче материал без използване на лепило.
Няма риск от замърсяване, отделяне на газове или частици. Вакуумният краен ефектор/манипулаторно рамо на ST.CERA със специална технология за покритие е електрически изолиран. Можем също така да предоставим ESD керамичен материал, който е електрически изолиран без никакво покритие.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃. -
Компоненти на полупроводниково оборудване от алуминиева керамика
Предотвратете частиците, които могат да се генерират от скосените или ъгловите ръбове и задната повърхност, докато пластините се транспортират или са в контакт с крайния ефектор/манипулиращото рамо.
За водачите е използван мек материал, който не уврежда пластината.
Разреждането е възможно благодарение на вградената технология за вакуумни канали на ST.CERA, която не използва лепила.
Възможно е да се направят монтажни отвори и да се промени дължината и ширината на основата, където е монтиран крайният ефектор/манипулиращото рамо върху робота.
Монтажът на сензори, винтове и скоби се предлага като опция.
Проектиран за употреба в атмосфера.
-
Персонализирана CNC обработка на керамичен краен ефектор St.Cera
ST.CERA предлага вакуумно керамично крайно ефекторно/манипулаторно рамо с вграден кух канал. Ние сме специализирани в техника, която формира вакуумен въздушен канал вътре в едно парче материал без използване на лепило.
Няма риск от замърсяване, отделяне на газове или частици. Вакуумните крайни ефектори/манипулаторни рамена на ST.CERA с вграден канал са издръжливи и могат да се използват при високи температури. Освен това, производствените ни разходи могат да бъдат намалени чрез елиминиране на ненужния монтаж.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
Алуминиев антистатичен керамичен краен ефектор
С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
