Тефлоново покритие от керамичен краен ефектор – незалепваща повърхност за чувствителна работа с пластини
Керамичният краен ефектор с тефлоново (PTFE) покритие на St.Cera съчетава високоякостен алуминиев субстрат с равномерно PTFE покритие с ниско триене (дебелина 15–30 μm). Покритието осигурява изключително нисък коефициент на триене (≤0,1), отлична химическа устойчивост и незалепващи свойства, предотвратявайки залепването на пластините и елиминирайки замърсяването на задната страна. Подлежащият керамичен субстрат (99,8% Al₂O₃) предлага висока якост на огъване (361–1000 MPa), износоустойчивост и термична стабилност до 260°C (граница на покритието). Този краен ефектор е идеален за работа с деликатни, тънки или лепкави пластини (напр. след фоторезистно покритие или химични процеси).
Спецификации (на базата на 99,8% Al₂O₃ субстрат с PTFE покритие):
| Имот | Стойност |
| Материал на основата | 99,8% алуминиев оксид (слонова кост) |
| Покриващ материал | PTFE (тефлон) |
| Дебелина на покритието | 15–30 μm |
| Коефициент на триене (с покритие) | ≤0,1 |
| Якост на огъване на основата (Al₂O₃) | 361 МПа |
| Твърдост на основата (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Плътност на субстрата | 3,93 г/см³ |
| Максимална работна температура (граница на покритието) | 260°C |
| Грапавост на повърхността (преди нанасяне на покритие) | Ra ≤0,4 μm |
| Диелектрична якост (субстрат) | 15×10⁶ V/м |
Забележка: PTFE покритието ограничава максималната температура до 260°C; за приложения с по-висока температура, помислете за непокрита керамика или други покрития.
Приложения:
- · Работа с пластини след нанасяне на фоторезистно покритие (лепкави повърхности)
- · Трансфер на тънки или крехки вафли (предотвратява залепването)
- · Инструменти за инспекция и метрология на полупроводници
- · Автоматизация на чисти помещения, където замърсяването с частици трябва да бъде сведено до минимум
Производствен процес:
Керамична основа, синтерована и прецизно шлайфана → награпяване на повърхността (плазмено ецване или абразия) → PTFE пръскано покритие → термично втвърдяване при 380°C → окончателна проверка. Всеки краен ефектор се проверява за дебелина на покритието (вихров ток), адхезия (тест за напречно рязане ASTM D3359) и коефициент на триене.
Контрол на качеството:
100% визуална проверка за дупки или мехурчета; равномерност на дебелината на покритието в рамките на ±5 μm; без разслояване след тест за огъване на 90° върху свидетелски отпечатък. Проверка на размерите съгласно толеранса на производителя на оригиналното оборудване (дължина ±0,05 mm, плоскост ≤0,1 mm).
Предимства пред непокритите или други покрития:
- · Незалепващата повърхност предотвратява залепването и счупването на вафлата
- · Най-нисък коефициент на триене сред керамичните покрития
- · Отлична химическа устойчивост (киселини, основи, разтворители)
- · Намалява генерирането на частици чрез предотвратяване на преноса на материал
Ограничения (забележки относно отклонението на материала):
PTFE покритието не е извлечено от предоставените таблици със свойства на материалите (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Свойствата на основата стриктно следват предоставения информационен лист (99,8% Al₂O₃). Свойствата на покритието са базирани на стандартни за индустрията PTFE спецификации, тъй като не са предоставени данни за покритието. За приложения над 260°C се препоръчва непокрит керамичен краен ефектор.*
Персонализиране:
Предлага се в дължини 150–1500 мм, форми на върха (захват с ръб, Бернули, плосък), модели на монтажни фланци съгласно OEM чертеж. Частично покритие (само контактните зони) или пълно покритие по избор.
Заявете проба за тестване на адхезия и триене.
