Алуминиев PVD изолационен пръстен за системи за физическо отлагане на пари

PVD изолационният пръстен на St.Cera е произведен от 99,8% алуминиев оксид (Al₂O₃) с висока чистота за използване в системи за физическо отлагане от пари (PVD). Пръстенът осигурява електрическа изолация между компонентите на камерата, предотвратявайки искрене и осигурявайки стабилна работа с плазма. Ключовите свойства включват висока диелектрична якост (15×10⁶ V/m), специфично съпротивление >10¹⁴ Ω·mm²/m и термична стабилност до 1600°C. Нашите възможности за прецизна обработка постигат външни диаметри до 600 мм, вътрешни диаметри до 0,2 мм, плоскост от 0,003 мм и повърхностно покритие Ra0,1. Нулевата порьозност и химическата инертност на пръстена осигуряват дългосрочна надеждност в агресивни среди за разпрашаване.

Спецификации (базирани на 99,8% Al₂O₃& производствени възможности на St.Cera):

Приложения:

• · Изолатори с подложка за мишена в PVD системи
• · Изолатори за преминаване през камерата
• · Изолатори с екраниращ пръстен в системи за разпрашване
• · Изолация на високо напрежение в плазмени камери

Прецизност на производството:

Концентричност: 0,01 мм, кръглост: 0,002 мм, праволинейност: 0,005 мм, перпендикулярност: 0,005 мм, проверено с CMM.

AПредимства пред полимерните изолатори:

• · Издържа на 1600°C в сравнение с границата <300°C за полимера
• · Без отделяне на газове – запазва целостта на вакуума
• · Устойчив на плазмена ерозия и химическа атака

Персонализиране:

Предлагат се персонализирани напречни сечения, монтажни елементи, стъпаловидни профили и множество дизайни на концентрични пръстени.