Роботизирано рамо от високочист алуминиев керамик за работа с пластини
Роботизираното рамо от алуминиев керамичен оксид на St.Cera е прецизно изработено от 99,8% високочист Al₂O₃ (алуминиев оксид). То съчетава изключителна якост на огъване (361 MPa), висока твърдост (16 GPa) и ниска плътност (3,93 g/cm³), което води до леко, но твърдо рамо за трансфер на полупроводникови пластини. Коефициентът на термично разширение на материала (7,2×10⁻⁶/°C) е точно съпоставим със силиция, което минимизира термичното несъответствие по време на обработката.
Спецификации (на база 99,8% Al₂O₃):
| Имот | Стойност |
| Цвят | Слонова кост |
| Плътност | 3,93 г/см³ |
| Якост на огъване | 361 МПа |
| Твърдост по Викерс | 16 GPa |
| Модул на Юнг | 380 GPa |
| Топлопроводимост | 32 W/m·k |
| Термично разширение | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Диелектрична якост | 15×10⁶ V/м |
Приложения:
- Роботи за вакуумно прехвърляне на пластини (200 мм/300 мм)
- Системи за обработка на атмосферни условия
- Крайни ефекторни рамена за автоматизация на FAB
Производствен процес:
Изостатично пресоване → зелена обработка → синтероване при 1600°C → CNC прецизно шлайфане → ултразвуково почистване → Опаковка за чисти помещения клас 100. Всяко рамо е 100% проверено от CMM за плоскост (±0,01 mm) и грапавост на повърхността (Ra ≤0,4 μm).
Контрол на качеството:
St.Cera е сертифицирана по ISO 9001:2015. Извършваме тестове за проникване на багрила за микропукнатини, триточково огъване за якост на огъване и тестове за диелектрична якост съгласно ASTM D149.
Предимства пред металните оръжия:
- 50% по-лек от неръждаема стомана
- Без галванична корозия
- По-ниско генериране на частици (≤0,05 частици/см²)
- Предлага се ESD-безопасно покритие (10⁶–10⁹ Ω/кв.м.)
Персонализиране:
Дължини от 150 мм до 450 мм, форми на върха (захват на ръб, Бернули, вакуум) и модели на монтажни фланци съгласно OEM чертежи. Прототипи до 2 седмици.
За поръчки на едро, моля, поискайте оферта.
