ST.CERA Персонализиран вакуумен краен ефектор от алуминиев керамик

Кратко описание:

Това е керамичен краен ефектор/манипулиращо рамо тип тава, използвано във вакуумни условия.

Керамичното рамо за краен ефектор/манипулирано устройство е „по-устойчиво на топлина“, „по-малко отклоняващо се“ и „по-леко“ в сравнение с металните.

С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.

Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.