ST.CERA Персонализиран полупроводников керамичен фокусиращ пръстен
Изработени от високочиста (над 99,5%) алуминиева керамика, образувана чрез студено изостатично пресоване и синтерована при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики на износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация.
С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
