12-инчов вакуумен патронник от алуминиев оксид за обработка на 300 мм пластини

12-инчовият вакуумен патронник на St.Cera е прецизно изработен от 99,8% алуминиев оксид (Al₂O₃) с висока чистота за работа с пластини с диаметър 300 мм. Патронникът е с фино набраздена повърхност (ширина на канала 0,5–1,0 мм, стъпка 2–3 мм), за да се осигури равномерно разпределение на вакуума по целия диаметър от 300 мм. Плоскостта се поддържа в рамките на 5 μm, което позволява фиксиране на пластините без деформации по време на рязане, шлайфане на задната страна и проверка. Високата якост на огъване (361 MPa) и твърдост (16 GPa) на материала гарантират дългосрочна размерна стабилност дори при многократни цикли на вакуумиране.

Спецификации (на база 99,8% Al₂O₃):

Приложения:

 Нарязване и чертане на вафли 300 мм
Шлифоване на обратната страна на пластината (тънка опора на пластината)
 Оптична инспекция и сондиране
 Патронници за временно свързване/отлепване

Производство:

Шлайфани и полирани с CNC до крайна плоскост, набраздени с диамантени дискове, ултразвуково почистени и опаковани в чиста стая клас 100. Всеки патронник е 100% проверен за плоскост (лазерен интерферометър) и дълбочина на канала (профилометър).

Предимства:

 Ниско генериране на частици (≤0,05 частици/cm²)

 Химически инертен към разтворители и киселини

ESD-безопасна повърхност (съпротивление >10¹³ Ω·cm)

Предлагат се персонализирани модели на отвори за вакуум и задни портове.