Вакуумна държач от пореста керамика на алуминиева основа за работа с тънки пластини
Порестият патронник на St.Cera на базата на алуминиев оксид е изработен от 99,6% Al₂O₃ с висока чистота с контролирана отворена порьозност от 30–45% и равномерен размер на порите, вариращ от 10 до 50 μm. За разлика от патронниците с жлебове, порестата повърхност осигурява разпределен вакуум по цялата задна страна на пластината, елиминирайки маркировката по ръбовете и позволявайки нежно захващане на ултратънки (≤100 μm) или деформирани пластини. Материалът предлага якост на огъване ≥250 MPa и термична стабилност до 400°C на въздух.
Спецификации(на базата на 99,6% Al₂O₃):
| Имот | Стойност |
| Материал | 99,6% алуминиев оксид (бял) |
| Порьозност | 30–45% (регулируемо) |
| Среден размер на порите | 10–50 μm |
| Якост на огъване | ≥250 МПа |
| Плътност | 3,88 г/см³ |
| Плоскост (над 200 мм) | ≤5 μm |
| Максимална работна температура | 400°C (въздух) |
| Повърхностно покритие | Припокриване (Ra ≤0,8 μm) |
Приложения:
- · Шлайфане на обратната страна на тънки пластини (≤50 μm)
- · Изкривена подложка за нарязване
- · Единичен поемател на матрици
- · Работа със стъклена основа
Производство:
Прах, смесен с порообразуватели → изостатично пресоване → синтероване при 1600°C → притискане до крайна дебелина. Всеки патронник се тества за равномерност на вакуума (отклонение на налягането <5%) и се проверява за разпределение на размера на порите (SEM).
Предимства пред конвенционалните патронници:
- · Без маркиране на гърба на пластината или изместване на чипа
- · Задържа пластини с извивка до 500 μm
- · Самопочистваща се повърхност (порите са устойчиви на запушване)
- · Равномерната опора елиминира локалното напрежение
Cперсонализация:
Кръгли или квадратни форми, диаметър 100–450 мм. Предлага се уплътнителен пръстен за зонов контрол на вакуума.
Заявете мостра за вашия специфичен размер на вафлата.
