Керамичен опорен щифт за полупроводникови технологични приспособления
Керамичните опорни щифтове на St.Cera (известни също като повдигащи щифтове или опорни щифтове) се използват в камери за полупроводникови процеси за повдигане на пластини или подложки по време на обработка, нагряване или охлаждане. Изработени от 99,8% алуминиев оксид или силициев нитрид, тези щифтове предлагат висока якост на натиск, термична стабилност и химическа устойчивост. Полусферичният или плосък дизайн на върха предотвратява надраскване на пластината.
Спецификации(Алуминиев оксид 99,8%):
| Имот | Стойност |
| Материал | 99,8% Al₂O₃ или Si₃N₄ |
| Дължина | 10 – 100 мм |
| Диаметър | 1 – 10 мм |
| Форма на върха | Плоска, полусферична, заострена |
| Якост на натиск (Al₂O₃) | >2000 МПа |
| Максимална работна температура (Al₂O₃) | 1600°C |
| Повърхностно покритие | Припокриване (Ra ≤0,4 μm) |
| Толеранс на диаметъра | ±0,01 мм |
Приложения:
Повдигащи щифтове в CVD/PVD камери
Опорни щифтове за печене на котлон
Структури за поддръжка на сондажни карти
Опори за лодки от кварцови пещи
Производство:
Прецизно безцентрово шлифоване на външен диаметър → диамантено шлифоване на профила на върха → ултразвуково почистване → 100% проверка на размерите.
Контрол на качеството:
CMM за дължина/диаметър, оптичен сравнител за радиус на върха, изпитване с натоварване за проверка на якостта на натиск (случайна проба за партида). Няма феромагнитно замърсяване (проверено с магнит).
Предимства пред металните или кварцовите щифтове:
5 пъти по-дълъг живот от неръждаема стомана
Няма метално замърсяване в процесната камера
По-висока температурна способност от кварца (1600°C срещу 1100°C)
Незалепваща повърхност (намалено прилепване на частици)
Персонализиране:
Множество профили на върха, резбована основа или коничен вал.
Доставяме и SiC щифтове за екстремни плазмени среди.
