Алуминиева газоразпределителна плоча за CVD/PVD душ
Газоразпределителната плоча (душова глава) на St.Cera е прецизно изработена от високочиста 99,8% алуминиева керамика. Тя е снабдена с набор от микроотвори (с диаметър 0,3–1,5 mm), които осигуряват равномерен поток на газ по повърхността на пластината по време на CVD, PVD или ALD процеси. Високата диелектрична якост (>15×10⁶ V/m) и плазменото съпротивление на плочата я правят незаменима за отлагането на тънки полупроводникови филми.
Спецификации:
| Имот | Стойност |
| Материал | 99,8% Al₂O₃ или SiC |
| Диаметър | 100 – 1500 мм (кръгли) или правоъгълни |
| Дебелина | 5 – 20 мм |
| Диаметър на отвора | 0,3 – 1,5 мм |
| Модел на дупките | По поръчка (триъгълни, квадратни, радиални) |
| Плоскост | ≤10 μm по цялата площ |
| Грапавост на повърхността | Ra ≤0,6 μm (газова страна) |
| Съотношение на отворената площ | 5–15% |
Приложения:
PECVD душови плочи
ALD газови инжектори
Газоразпределителни плочи за ецваща камера
Компоненти на MOCVD реактор
Производство:
Алуминиева основа, обработена с плоска повърхност → CNC пробиване с диамантено покритие (толеранс на позицията на отвора ±0,02 мм) → обезмасляване → ултразвуково почистване → опаковка клас 100.
Контрол на качеството:
Всяка плоча е 100% проверена за размер на отвора (визуална система), плоскост (лазерен интерферометър) и равномерност на газовия поток (картографиране на налягането). Няма микропукнатини под 20x микроскоп.
Предимства пред металните плочи:
Без метално замърсяване в тънките филми
По-ниско генериране на частици (без корозионни люспи)
Устойчив на агресивни почистващи плазми (CF₄, NF₃)
Персонализирани функции:
Задни газови канали, отвори с контрапробити отвори, уплътнения по ръбовете и различни видове материали (SiC за по-висока топлопроводимост, Y₂O₃ покритие за плазмена устойчивост).
Ние предлагаме CAD верификация и симулация на потока преди производството.
