ESD-безопасни алуминиево-керамични части за работа с чувствителни към статично електричество пластини
Алуминиево-керамичните части на St.Cera, безопасни за ESD (електростатично разреждане), са произведени от 99,8% Al₂O₃ с висока чистота и специално повърхностно съпротивление от 10⁶–10⁹ Ω/sq, постигнато чрез патентован процес на легиране или покритие. Тези части ефективно разсейват статичния заряд, предотвратявайки електростатично увреждане на чувствителни полупроводникови пластини и устройства. Основният материал запазва високата си якост на огъване (361 MPa), твърдост (16 GPa) и диелектрична якост (15×10⁶ V/m). ESD-безопасните керамични части включват крайни ефектори, повдигащи щифтове, направляващи релси и персонализирани приспособления за FAB автоматизация.
Спецификации(на базата на 99,8% Al₂O₃ с ESD обработка):
| Имот | Стойност |
| Основен материал | 99,8% алуминиев оксид |
| Повърхностно съпротивление (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/кв.м |
| Плътност | 3,93 г/см³ |
| Якост на огъване | 361 МПа |
| Твърдост по Викерс | 16 GPa |
| Модул на Юнг | 380 GPa |
| Термично разширение (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максимална работна температура | 800°C |
| Диелектрична якост (в насипно състояние) | 15×10⁶ V/м |
Забележка: Повърхностното съпротивление ESD не е посочено в предоставените таблици със свойства на материалите. Горният диапазон е индустриален стандарт за дисипативна керамика. Моля, свържете се с нас за протоколи от изпитвания.
Приложения:
● ESD-безопасни крайни ефектори за трансфер на пластини
● Заземяващи щифтове и ESD приспособления в FAB оборудване
● Тествайте контактите за устройства, чувствителни към статично електричество
● Инструменти за чисти помещения, където статичният контрол е от решаващо значение
Производство и качество:
Стандартна обработка с алуминиев оксид + ESD повърхностна обработка → повърхностно съпротивление, измерено съгласно ANSI/ESD STM11.11. Всяка част е 100% тествана с концентричен пръстенов електрод.
Предимства:
● Предотвратява загуба на добив, свързана с електростатично разреждане (ESD)
● Поддържа механичната здравина и химическата устойчивост на керамиката
● Няма генериране на частици от статично електричество
