Керамичен уплътнителен пръстен с висока чистота от алуминиев оксид за уплътняване на камери с висока температура
Керамичният уплътнителен пръстен на St.Cera е проектиран като алтернатива на полимерните О-пръстени в екстремни среди, където еластомерите се разграждат. Изработен от 99,8% алуминиев оксид с висока чистота (Al₂O₃), този твърд уплътнителен пръстен се използва в приложения за статично уплътняване — обикновено в комбинация с меко метално или графитно уплътнение — за да осигури надеждно вакуумно или газово задържане при температури до 800°C и в агресивна плазмена или химическа среда. Материалът предлага нулево отделяне на газове, висока якост на натиск (основна якост на огъване 361 MPa) и химическа инертност (устойчив на халогени, киселини и основи, с изключение на HF). Прецизно прилепналите уплътнителни повърхности (плоскост ≤5 μm, грапавост на повърхността Ra ≤0,2 μm) осигуряват херметичен контакт със свързващите метални или керамични компоненти.
Спецификации(на базата на 99,8% Al₂O₃):
| Имот | Стойност |
| Материал | 99,8% алуминиев оксид (слонова кост) |
| Плътност | 3,93 г/см³ |
| Абсорбция на вода | 0% |
| Якост на огъване | 361 МПа |
| Якост на натиск (прибл.) | >2000 МПа |
| Твърдост по Викерс | 16 GPa |
| Термично разширение (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максимална работна температура | 800°C (въздух), 1600°C (инертна среда) |
| Повърхностна обработка (уплътнителна повърхност) | Ra ≤0,2 μm (припокриване) |
| Плоскост (на 25 мм) | ≤5 μm |
| Скорост на изтичане на хелий | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (с подходящо уплътнение) |
Приложения:
- · Статични уплътнения за полупроводникови технологични камери (CVD, PVD, ецване)
- · Уплътнения за врати на пещ за висока температура
- · Вакуумни фланци за преминаване
- · Затваряния на съдове за химически реактори
Производствен процес:
Изостатично пресоване → синтероване при 1600°C → прецизно двустранно припокриване за постигане на ултраплоски, гладки уплътнителни повърхности → скосяване на ръбовете → ултразвуково почистване. Всеки пръстен е 100% тестван за течове с хелиев детектор за течове със стандартно метално уплътнение.
Контрол на качеството:
- · Проверка на размерите на CMM (вътрешен диаметър, външен диаметър, дебелина, паралелизъм)
- · Повърхностен профилометър за Ra и вълнообразност
- · Измерване на плоскост с помощта на оптична плоска повърхност
- · Тест за теч на хелий (метод на обратно налягане)
Предимства пред полимерните О-пръстени:
- · Издържа на 800°C срещу <300°C за FFKM
- · Нулево отделяне на газове — без замърсяване на вакуумната среда
- · Устойчив на всички плазмени химикали (флуор, хлор, кислород)
- · Без компресионна деформация или трайна деформация
- · Неограничен експлоатационен живот в чиста среда
Ограничения (Критични забележки):
- · Не е О-пръстен— това е твърд керамичен пръстен, който изисква меко уплътнение (медно, алуминиево или графитно) за уплътняване.
- · Не поема динамично движение или голямо несъосие на фланците.
- · По-висока първоначална цена от полимерните О-пръстени, но по-дългият живот намалява разходите за притежание.
- · Чупливо — боравете внимателно; избягвайте точкови удари или напрежение при огъване.
Забележка:Горните данни стриктно съответстват на предоставената таблица със свойства на Al₂O₃. Не са предоставени данни за еластомерни материали. Този продукт е статичен уплътнителен пръстен, а не еластомерен О-пръстен. Моля, потвърдете дали това отговаря на изискванията на вашето приложение.
