Високочист алуминиев керамичен краен ефектор за роботи за обработка на пластини
Алуминиево-керамичният краен ефектор на St.Cera е прецизно обработен от 99,8% Al₂O₃ с висока чистота, използвайки усъвършенствано 5-осно CNC шлифовъчно оборудване. Нашите производствени възможности включват прецизни шлифовъчни машини и CNC обработващи центрове, което позволява сложни геометрии с висока прецизност. Крайният ефектор се отличава с тънък профил (тънък до 1,5 мм) със заострен водещ ръб за плавно поставяне на пластината. Материалът осигурява висока твърдост (модул на Юнг 380 GPa), отлична износоустойчивост и термична стабилност до 800°C. Всеки модул е прецизно шлифован, за да се постигне плоскост от 0,003 мм, паралелизъм от 0,002 мм и повърхностна обработка Ra0.1, осигурявайки постоянен контакт с пластината и работа без частици в полупроводникови FAB среди. Предлага се в дължини от 150 мм до 450 мм, с персонализирани геометрии на върха (захват на ръб, Bernoulli, плосък) и монтажни фланци, подходящи за OEM роботи. Опциите за повърхностно покритие включват припокриване, полиране или ESD дисипативно покритие (10⁶–10⁹ Ω/кв.м.).
Спецификации (базирани на 99,8% Al₂O₃& производствени възможности на St.Cera):
| Имот | Стойност |
| Материал | 99,8% алуминиев оксид (слонова кост) |
| Плътност | 3,93 г/см³ |
| Якост на огъване | 361 МПа |
| Твърдост по Викерс | 16 GPa |
| Модул на Юнг | 380 GPa |
| Плоскост | 0,003 мм |
| Паралелизъм | 0,002 мм |
| Повърхностно покритие | Ra0.1 (полирано/прилепнало) |
| Максимална работна температура | 800°C |
| Диапазон на дължината | 150–450 мм |
Приложения:
- · Трансфер на пластини във вакуумни и атмосферни роботи
- · FAB автоматизирани крайни ефектори за пластини 200 мм/300 мм
- · Работа с тънки пластини (с опция за ESD)
Производствени възможности:
Нашите прецизни шлифовъчни машини и CNC обработващи центрове позволяват производството на сложни керамични компоненти с:
- · Максимална дължина на обработка: 1500 мм
- · Максимален външен диаметър: 600 мм
- · Минимален вътрешен диаметър: 0,2 мм
- · Максимална дебелина: 100 мм
Контрол на качеството:
Праволинейност 0,005 мм, перпендикулярност 0,005 мм, кръглост 0,002 мм, паралелизъм 0,002 мм, концентричност 0,01 мм, проверени чрез CMM. Всеки модул е ултразвуково почистен и е опакован за чисти помещения клас 100.
