Керамичен краен ефектор от силициев карбид (SiC) – висока твърдост за работа с пластини при висока температура
Керамичният краен ефектор SiC на St.Cera е произведен от високочист силициев карбид (съдържание на SiC 99,72%, свободен Si 0,05%), като е използван материалът S1111. Той предлага изключителни механични свойства: якост на огъване 449 MPa (измерена), модул на еластичност 457 GPa (измерен) и твърдост по Викерс 25–28 GPa (типична). Ниската плътност (3,10–3,15 g/cm³, типична) осигурява висока специфична твърдост, идеална за високоскоростни роботи за трансфер на пластини. С топлопроводимост от 120–150 W/m·K (типична) и коефициент на термично разширение от 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типичен), този краен ефектор ефективно разсейва топлината и поддържа размерна стабилност по време на работа при високи температури (до 1600–1700°C, без товар). Черно-сивият цвят и нулевото водопоглъщане осигуряват съвместимост с чисти помещения.
Спецификации(въз основа на предоставения тестов протокол от SiC S1111 и типични стойности):
| Имот | Стойност |
| Материал | SiC (99,72% SiC, 0,05% свободен Si) |
| Цвят | Черно/Сиво |
| Плътност | 3,10–3,15 г/см³ |
| Абсорбция на вода | 0% |
| Якост на огъване | 449 MPa (средно) |
| Устойчивост на счупване | 3,12 MPa·m¹/² (средно) |
| Модул на еластичност | 457 GPa |
| Твърдост по Викерс | 25–28 GPa |
| Топлопроводимост (25°C) | 120–150 W/m·K |
| КТР (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Максимална работна температура (без товар) | 1600–1700°C |
Приложения:
● Работа с пластини при висока температура (след отгряване, RTP, епитаксия)
● Камери за плазмено ецване, изискващи висока устойчивост на ерозия
● Високоскоростни трансферни роботи (леки, с висока твърдост)
Производство:
Синтероване на SiC прах → прецизно CNC шлайфане на профила на рамото и монтажните елементи → повърхностно притискане → ултразвуково почистване. 100% размерна проверка и тест за течове с хелий за вакуумни приложения.
Контрол на качеството:
● CMM проверка на дължина, ширина и плоскост
● Изпитване на якост на огъване за всяка партида (съгласно стандарта за протокол от изпитване)
● Визуална проверка под микроскоп за повърхностни дефекти
Предимства пред алуминиевия оксид или метала:
● 2× по-висок модул на еластичност (457 спрямо ~380 GPa за алуминиев оксид) – по-малко отклонение
● 3× по-висока топлопроводимост – по-бързо разсейване на топлината
● Издържа >1600°C в сравнение с 800°C на алуминиев оксид във въздуха
● По-ниска плътност от стоманата – 40% намаление на теглото
Персонализиране:
Дължини 150–450 мм, форми на върха (ръбовиден, Bernoulli, плосък), схеми за монтаж на фланци съгласно OEM чертеж.
*Всички механични данни по-горе са от предоставения протокол от изпитване (партида S1111). Термичните стойности и стойностите на твърдостта са типични за този клас SiC; моля, свържете се с нас за сертифициране, специфично за партидата.*
