Фокусиращ пръстен от високочиста алуминиева камера за системи за плазмено ецване и CVD

Фокусиращият пръстен на St.Cera е критичен компонент от технологичния комплект, използван в полупроводниковото оборудване за плазмено ецване, CVD и PVD. Изработен от 99,8% алуминиев оксид с висока чистота (Al₂O₃), пръстенът обгражда ръба на пластината, за да ограничи плазмата и да оптимизира ъгловото разпределение на йоните, като по този начин подобрява равномерността на ецването по цялата повърхност на пластината. Материалът предлага изключителна плазмена устойчивост, висока диелектрична якост (15×10⁶ V/m) и термична стабилност до 1600°C, осигурявайки дългосрочна надеждност в агресивни плазмени среди на базата на флуор или хлор. Прецизно шлифованият вътрешен/външен диаметър и плоскост (≤10 μm) позволяват точно позициониране на ръбовете на пластината, намалявайки дефектите по ръбовете и генерирането на частици.

Спецификации(на базата на 99,8% Al₂O₃):

Приложения:

• · Фокусни пръстени на диелектрична ецваща камера (оксидно, нитридно ецване)
• · Силициеви пръстени за ецване
• · Пръстени от комплект за обработка на CVD камера
• · PVD екранираща камера и скоби

Производствен процес:

Алуминиев прах с висока чистота се пресова изостатично → обработва се зелено до почти чиста форма → синтерова се при 1600°C → CNC диамантено шлифоване на вътрешен диаметър, външен диаметър и дебелина → припокриване за постигане на плоскост ≤10 μm → ултразвуково почистване → 100% CMM инспекция. Повърхностната обработка Ra ≤0,4 μm минимизира адхезията на частиците.

Контрол на качеството:

• · 100% проверка на размерите (вътрешен диаметър, външен диаметър, дебелина, паралелизъм)
• · Тест за проникване с багрило за микропукнатини (не се допускат пукнатини)
• · Визуална проверка под микроскоп 20× — без отчупвания, кухини или обезцветяване
• · Изпитване за диелектрична якост съгласно ASTM D149 (вземане на проби)

Предимства пред силициевите или кварцовите фокусни пръстени:

• · 5–10 пъти по-дълъг живот във флуоровъглеродна плазма
• · Няма консумативни ерозионни частици, които да замърсят пластините
• · По-високата диелектрична якост предотвратява образуването на дъга
• · Поддържа плоскост и точност на размерите в продължение на хиляди RF часове

Алтернативен материал — цирконий, стабилизиран с итрий (ZrO₂):

За приложения, изискващи по-висока жилавост на разрушаване (напр. камери с чести термични цикли или механични удари), се предлагат фокусиращи пръстени от ZrO₂ (плътност 6,03 g/cm³, якост на огъване 1000 MPa, жилавост на разрушаване 5–8 MPa·m¹/²). Алуминиевият оксид обаче предлага по-добра икономическа ефективност и е индустриалният стандарт за повечето приложения на фокусиращи пръстени.

Персонализиране:

• · Стъпаловидни профили, зенкеровани отвори или монтажни отвори по чертеж на клиента
• · Y₂O₃ покритие за подобрена устойчивост на плазмена ерозия (дебелина 20–100 μm)
• · Лазерно маркиране на номер на част, код на дата или маркировки за подравняване

Забележка:Всички данни стриктно следват предоставената таблица със свойствата на Al₂O₃. За спецификациите на ZrO₂ вижте предоставения информационен лист за цирконий. Дизайнът на фокусните пръстени може да изисква патентно одобрение — клиентите са отговорни за проверката на правата върху интелектуална собственост.