-
ST.CERA Специализирано полупроводниково оборудване Керамични патронници
Критичният процес в полупроводниковата област изисква да се извършва в чисти помещения, особено за устройства, които трябва да се използват при условия на висока температура, вакуум и корозивни газове. Керамиката може да поддържа висока стабилност в сложна физическа и химическа среда.
-
ST.CERA Персонализирано полупроводниково оборудване Керамична плоча
Критичните процеси в полупроводниковата област изискват извършване в чисти помещения, особено за устройства, които трябва да се използват при условия на висока температура, вакуум и корозивни газове. Керамиката може да поддържа висока стабилност в сложна физическа и химическа среда.
-
ST.CERA Персонализиран полупроводников керамичен фокусиращ пръстен
Критичният процес в полупроводниковата област изисква да се извършва в чисти помещения, особено за устройства, които трябва да се използват при условия на висока температура, вакуум и корозивни газове. Керамиката може да поддържа висока стабилност в сложна физическа и химическа среда.
-
ST.CERA Персонализирано 99,5% алуминиево керамично рамо за товарене
Керамичното крайно ефекторно/манипулиращо рамо е инсталирано на робот за обработка на пластини или „крайни ефектори“ и се използва за пренасяне на силициеви пластини в или извън касети или технологични камери.
Предимствата на използването на керамика са намаляване на огъването поради високата якост на огъване, устойчивост на високи температури и елиминиране на метални замърсявания и частици. -
ST.CERA Персонализиран алуминиев керамичен краен ефектор
ST.CERA предлага ESD покритие и ESD керамичен материал. Краен ефектор. Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Персонализиран полупроводников керамичен фокусиращ пръстен
Изработени от високочиста (над 99,5%) алуминиева керамика, образувана чрез студено изостатично пресоване и синтерована при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики на износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация.
С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Персонализирана полупроводникова прецизна алуминиева керамична втулка
Изработени от високочиста (над 99,5%) алуминиева керамика, образувана чрез студено изостатично пресоване и синтерована при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики на износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация.
С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Персонализиран вакуумен краен ефектор от алуминиев керамик
Това е керамичен краен ефектор/манипулиращо рамо тип тава, използвано във вакуумни условия.
Керамичното рамо за краен ефектор/манипулирано устройство е „по-устойчиво на топлина“, „по-малко отклоняващо се“ и „по-леко“ в сравнение с металните.
С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Персонализирани 99,5% алуминиеви керамични тръби и керамични пръти
С характеристики на устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, устойчивост на износване и изолация, керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Персонализирано обработване на алуминиево-керамични крайни ефектори
ST.CERA предлага ESD покритие и ESD керамичен материал за краен ефектор/манипулиращо рамо с вграден кух канал. Ние сме специализирани в техника, която формира вакуумен въздушен канал вътре в едно парче материал без използване на лепило.
Няма риск от замърсяване, отделяне на газове или частици. Вакуумният краен ефектор/манипулаторно рамо на ST.CERA със специална технология за покритие е електрически изолиран. Можем също така да предоставим ESD керамичен материал, който е електрически изолиран без никакво покритие.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃. -
Компоненти на полупроводниково оборудване от алуминиево-керамични крайни ефектори
Предотвратете частиците, които могат да се генерират от скосените или ъгловите ръбове и задната повърхност, докато пластините се транспортират или са в контакт с крайния ефектор/манипулиращото рамо.
За водачите е използван мек материал, който не уврежда пластината.
Разреждането е възможно благодарение на вградената технология за вакуумни канали на ST.CERA, която не използва лепила.
Възможно е да се направят монтажни отвори и да се промени дължината и ширината на основата, където е монтиран крайният ефектор/манипулиращото рамо върху робота.
Монтажът на сензори, винтове и скоби се предлага като опция.
Проектиран за употреба в атмосфера.
-
Персонализирана CNC обработка на керамичен краен ефектор St.Cera
ST.CERA предлага вакуумно керамично крайно устройство за обработка / рамо с вграден кух канал. Ние сме специализирани в техника, която формира вакуумен въздушен канал вътре в едно парче материал без използване на лепило.
Няма риск от замърсяване, отделяне на газове или частици. Вакуумните крайни ефектори/манипулаторни рамена на ST.CERA с вграден канал са издръжливи и могат да се използват при високи температури. Освен това, производствените ни разходи могат да бъдат намалени чрез елиминиране на ненужния монтаж.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
