Порест керамичен вакуумен патронник за работа с деформирани пластини
Порестият керамичен патронник на St.Cera е изработен от високочист алуминиев оксид с равномерна отворена порьозност от 30–45% и размери на порите от 10 до 100 μm. За разлика от конвенционалните жлебови патронници, порестата повърхност осигурява разпределен вакуум по цялата задна страна на пластината, като ефективно задържа изкривени, тънки или единични пластини без повдигане или счупване на ръбовете. Нежният вакуум (регулируем чрез ограничител) също така предотвратява маркирането на задната страна.
Спецификации(на базата на 99,6% Al₂O₃):
| Имот | Стойност |
| Порьозност | 30–45% |
| Среден размер на порите | 10–100 μm (избираемо) |
| Якост на огъване | ≥250 МПа |
| Плоскост (над 300 мм) | ≤5 μm |
| Повърхностно покритие | Припокриване (Ra 0.8 μm) |
| Максимално ниво на вакуум | -80 кПа |
| Работна температура | 400°C (въздух), 600°C (инертна среда) |
| Материал | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ или SiC |
Приложения:
Шлайфане на обратната страна на тънки пластини (≤50 μm)
Изкривен монтаж на пластина за нарязване
Единично вземане на матрица от лента
Работа със стъклени панели
Производство и качество:
Керамичен прах, смесен с органични порообразуватели → пресован → синтерован → припокриван до крайна дебелина. Всеки патронник се тества за равномерност на вакуума (≤5% отклонение) и се проверява за разпределение на размера на порите (SEM). Плоскостта се измерва с лазерен интерферометър.
Предимства пред канализираните патронници:
Без маркиране на ръбовете на пластината или изместване на чипа
Поддържа изкривени пластини (извивка до 500 μm)
Премахва запушването на вакуумния отвор
Самонивелираща се опора за тънки основи
Персонализиране:
Кръгли или правоъгълни форми, размер до 600 мм. Можем да приложим уплътнителни пръстени по ръбовете или зонални вакуумни прегради. Предлагат се версии с метална основа за изисквания за висока здравина.
Заявете мостра за тест за размер на вашата пластина и деформация.
