-
Роботизирано рамо от високочист алуминиев керамик за работа с пластини
Роботизираното рамо от алуминиев керамичен оксид на St.Cera е прецизно изработено от 99,8% високочист Al₂O₃ (алуминиев оксид). То съчетава изключителна якост на огъване (361 MPa), висока твърдост (16 GPa) и ниска плътност (3,93 g/cm³), което води до леко, но твърдо рамо за трансфер на полупроводникови пластини. Коефициентът на термично разширение на материала (7,2×10⁻⁶/°C) е точно съпоставим със силиция, което минимизира термичното несъответствие по време на обработката.
-
Керамичен краен ефектор Bernoulli — безконтактно боравене с тънки и крехки пластини
Керамичният краен ефектор Bernoulli на St.Cera използва аеродинамична подемна сила за работа с пластини без физически контакт. Изработен от високочист 99,8% алуминиев оксид (Al₂O₃) или силициев карбид (SiC), той е снабден с прецизно обработени дюзи, които изхвърлят газ под налягане, за да създадат тънък въздушен филм между крайния ефектор и пластината. Този принцип на безконтактно действие елиминира замърсяването на задната страна, отчупването на ръбовете и повредите на повърхността, което го прави идеален за тънки (≤100 μm), крехки или изкривени пластини. Керамичната основа осигурява висока якост на огъване (361 MPa за Al₂O₃; до 550–600 MPa за SiC), ниска маса и отлична размерна стабилност, осигурявайки повторяемо позициониране във високоскоростни роботи за трансфер на пластини.
-
Тефлоново покритие от керамичен краен ефектор – незалепваща повърхност за чувствителна работа с пластини
Керамичният краен ефектор с тефлоново (PTFE) покритие на St.Cera съчетава високоякостен алуминиев субстрат с равномерно PTFE покритие с ниско триене (дебелина 15–30 μm). Покритието осигурява изключително нисък коефициент на триене (≤0,1), отлична химическа устойчивост и незалепващи свойства, предотвратявайки залепването на пластините и елиминирайки замърсяването на задната страна. Подлежащият керамичен субстрат (99,8% Al₂O₃) предлага висока якост на огъване (361–1000 MPa), износоустойчивост и термична стабилност до 260°C (граница на покритието). Този краен ефектор е идеален за работа с деликатни, тънки или лепкави пластини (напр. след фоторезистно покритие или химични процеси).
