-
Керамични части от алуминиев високопрецизен керамичен пръстен
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Керамични патронници за полупроводниково оборудване по поръчка
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
Керамичен краен ефектор от силициев карбид (SiC) – висока твърдост за работа с пластини при висока температура
Керамичният краен ефектор SiC на St.Cera е произведен от високочист силициев карбид (съдържание на SiC 99,72%, свободен Si 0,05%), като е използван материалът S1111. Той предлага изключителни механични свойства: якост на огъване 449 MPa (измерена), модул на еластичност 457 GPa (измерен) и твърдост по Викерс 25–28 GPa (типична). Ниската плътност (3,10–3,15 g/cm³, типична) осигурява висока специфична твърдост, идеална за високоскоростни роботи за трансфер на пластини. С топлопроводимост от 120–150 W/m·K (типична) и коефициент на термично разширение от 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типичен), този краен ефектор ефективно разсейва топлината и поддържа размерна стабилност по време на работа при високи температури (до 1600–1700°C, без товар). Черно-сивият цвят и нулевото водопоглъщане осигуряват съвместимост с чисти помещения.
-
Вакуумен патронник на базата на силициев карбид (SiC) за високотемпературни и плазмени среди
Керамичният патронник на St.Cera на базата на SiC е произведен от високочист силициев карбид (партида S1111, SiC 99,72%, свободен Si 0,05%). Той осигурява измерена якост на огъване от 449 MPa, жилавост на счупване от 3,12 MPa·m¹/² и модул на еластичност от 457 GPa. Типичната топлопроводимост на материала (120–150 W/m·K) и ниското термично разширение (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) позволяват бързо повишаване на температурата и минимално деформиране на пластината по време на термично циклиране. Патронникът може да бъде конфигуриран като порест вакуумен патронник (равномерен газов поток) или стандартен патронник с канали. С максимална работна температура от 1600–1700°C (без товар) и изключителна устойчивост на плазмена ерозия, този патронник е идеален за високотемпературна обработка на пластини (отгряване, RTP) и агресивни камери за ецване, където алуминиевите патронници се разграждат.
-
Полупроводниково оборудване Керамични резервни части Керамични носители
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
Шлайфовъчен пръстен от алуминиев керамик с метална основа за приложения с висока твърдост при притриване
Шлифовъчният пръстен от метален алуминиев оксид на St.Cera комбинира износоустойчив керамичен слой от високочист алуминиев оксид (99,8% Al₂O₃) с прецизно обработена метална основа (обикновено алуминий или неръждаема стомана). Този хибриден дизайн осигурява изключителната износоустойчивост и химическа инертност на керамиката върху шлифовъчната повърхност, докато металната основа добавя механична здравина, лесен монтаж и устойчивост на крехко счупване. Алуминиевият слой предлага якост на огъване от 361 MPa, твърдост по Викерс от 16 GPa и термична стабилност до 800°C. Металната основа е персонализирана с монтажни отвори, локализиращи щифтове или магнитни свойства за интегриране в машини за притискане, планетарни шлифовъчни машини и CMP оборудване.
-
Керамични резервни части за оборудване за полупроводникови сонди
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
Персонализирана обработка на керамичен патронник от Al2O3
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
ST.CERA Керамична плоча за полупроводниково оборудване
Формирани чрез студено изостатично пресоване и синтеровани при висока температура, след което прецизно обработени и полирани, керамичните резервни части могат да отговорят на всички строги изисквания на полупроводниковото оборудване със своите характеристики като износоустойчивост, устойчивост на корозия, ниско термично разширение и изолация. Керамиката може да работи в много видове оборудване за производство на полупроводници при условия на висока температура, вакуум или корозивен газ за дълго време.
Изработен от високочист алуминиев прах, обработен чрез студено изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка, той може да достигне толеранс на размерите до ±0,001 мм, повърхностна обработка Ra 0,1, температурна устойчивост 1600℃.
-
12-инчов вакуумен патронник от алуминиев оксид за обработка на 300 мм пластини
12-инчовият вакуумен патронник на St.Cera е прецизно изработен от 99,8% алуминиев оксид (Al₂O₃) с висока чистота за работа с пластини с диаметър 300 мм. Патронникът е с фино набраздена повърхност (ширина на канала 0,5–1,0 мм, стъпка 2–3 мм), за да се осигури равномерно разпределение на вакуума по целия диаметър от 300 мм. Плоскостта се поддържа в рамките на 5 μm, което позволява фиксиране на пластините без деформации по време на рязане, шлайфане на задната страна и проверка. Високата якост на огъване (361 MPa) и твърдост (16 GPa) на материала гарантират дългосрочна размерна стабилност дори при многократни цикли на вакуумиране.
-
Алуминиево-керамичен краен ефектор с интегрирани вакуумни канали
Вакуумният краен ефектор от алуминиев оксид на St.Cera интегрира прецизно обработени вакуумни канали и смукателни отвори директно в тялото от алуминиев оксид с висока чистота 99,8%. Този дизайн елиминира външните вакуумни подложки, което позволява директно поемане на пластината с равномерна сила на задържане. Високата якост на огъване (361 MPa) и твърдост (16 GPa) на материала осигуряват дългосрочна размерна стабилност при многократни цикли на вакуумиране. Равността по площта на подложката се поддържа в рамките на 10 μm, предотвратявайки напрежение и счупване на пластината. Вакуумните отвори са разположени на задния монтажен фланец за лесна интеграция с OEM роботизирани рамена.
-
ESD-безопасни алуминиево-керамични части за работа с чувствителни към статично електричество пластини
Алуминиево-керамичните части на St.Cera, безопасни за ESD (електростатично разреждане), са произведени от 99,8% Al₂O₃ с висока чистота и специално повърхностно съпротивление от 10⁶–10⁹ Ω/sq, постигнато чрез патентован процес на легиране или покритие. Тези части ефективно разсейват статичния заряд, предотвратявайки електростатично увреждане на чувствителни полупроводникови пластини и устройства. Основният материал запазва високата си якост на огъване (361 MPa), твърдост (16 GPa) и диелектрична якост (15×10⁶ V/m). ESD-безопасните керамични части включват крайни ефектори, повдигащи щифтове, направляващи релси и персонализирани приспособления за FAB автоматизация.
